产品介绍
MEMS甲烷传感器利用MEMS工艺在Si基衬底上制作微热板，所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料。当传感器所处存在气体环境中时，传感器的电导率随空气中被检测气体的浓度而发生改变。该气体的浓度越高，传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。
产品特点
MEMS工艺、结构坚固
低功耗
高灵敏度
快速的响应恢复特性
简单的驱动电路
主要应用
适用于手机、电脑等消费类电子产品应用检测燃气泄漏；也适用于用于家庭、商业用所的可燃气体泄漏监测装置、气体检漏仪、防火/安全探测系统。
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